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簡述愛發(fā)科NRL180A干式真空泵常見故障的診斷與解決方法

點擊次數(shù):62 更新時間:2025-08-25
   愛發(fā)科NRL180A干式真空泵作為高潔凈真空環(huán)境的核心設備,廣泛應用于半導體、制藥、化工等精密領域。其無油特性雖大幅降低了污染風險,但在實際運行中仍可能因工藝氣體、環(huán)境條件或操作不當出現(xiàn)各類問題。掌握愛發(fā)科NRL180A干式真空泵常見故障的診斷與解決方法,是確保無油持續(xù)穩(wěn)定的保障。
 

 

  問題一:抽氣速率下降或極限真空度不達標
 
  原因:進氣過濾器堵塞、泵腔內積聚粉塵或聚合物、轉子間隙變化。
 
  解決方法:清潔或更換進氣濾網;對泵腔進行化學清洗或高溫烘烤清除殘留物;檢查同步齒輪磨損情況,必要時返廠校正轉子間隙。
 
  問題二:泵體過熱或溫度報警
 
  原因:冷卻系統(tǒng)失效(風扇損壞、水冷中斷)、環(huán)境溫度過高或連續(xù)高負荷運行。
 
  解決方法:檢查風冷風扇是否運轉,清理散熱片積塵;確認水冷系統(tǒng)水流暢通、水溫正常;降低運行轉速或增加停機冷卻時間。
 
  問題三:運行噪音異?;蛘駝釉龃?/div>
 
  原因:地腳松動、電機與泵體對中不良、軸承磨損或轉子積垢失衡。
 
  解決方法:緊固安裝螺栓,調整水平;檢查聯(lián)軸器對中;若為軸承問題,需專業(yè)拆解更換;定期清洗轉子,保持動平衡。
 
  問題四:排氣口有顆粒物或粉末排出
 
  原因:被抽氣體含大量粉塵,未加前置過濾器;泵內涂層剝落。
 
  解決方法:加裝高效前置過濾器或捕集器;若為涂層脫落,應停機檢查并返廠維修,避免進一步損壞。
 
  問題五:電機過載或跳閘
 
  原因:電壓不穩(wěn)、變頻器參數(shù)設置錯誤、泵內異物卡阻或軸承損壞。
 
  解決方法:檢查電源質量;核對變頻器頻率與負載匹配;手動盤車確認轉動靈活,排除機械卡滯。